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氣體質量流量計/控制器

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Line Tech氣體質量流量控制器

 

產品特點:

  • 快速的響應時間
  • 無泄漏
  • 較好的抗腐蝕性
  • 卓越的線性
  • 較高的長期穩定性
  • 寬泛的壓力范圍
  • 模塊化設計
  • 較高性價比

 

技術指標:

流量范圍
10SCCM-125SLPM
響應時間
≤2sec
準確度
≤1%FS
重復精度
±0.25%
輸入/輸出信號
0-5VDC,4-20mA
供電電源
+15~28VDC,350mA
耐壓
<9MPa
工作環境溫度
0-50℃
泄漏率
1*10-9atm.cc/sec

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